半導體製程對材料的要求極高，包括耐高溫、抗腐蝕、電性穩定、無金屬汙染、微粒控制等。若零件材質不穩定，容易因熱變形、化學侵蝕或靜電破壞而導致晶圓缺陷，造成良率下降與產線停擺。
氧化鋁陶瓷因其物性表現穩定、加工成熟、成本相對適中，成為半導體陶瓷指定的材料之一。不論是蝕刻腔體、加熱平台、絕緣支架或導氣環等部件，氧化鋁幾乎已成為標準選項。

1. 絕緣性佳
氧化鋁為天然絕緣體，能有效抑制漏電、靜電釋放（ESD）或電場干擾，特別適合用於電極座、感測器外殼、隔離環等部位。

2. 耐高溫性能出色
高純度氧化鋁的熔點達 2000°C，可長時間工作於800~1600°C區間的真空與加熱環境，廣泛應用於susceptor、反應腔結構、熱障隔層等高溫部件。

3. 抗化學腐蝕能力強
具備極佳的抗酸鹼、抗電漿侵蝕能力，在電漿蝕刻、清洗、鍍膜等製程中表現穩定，不會釋放微粒或造成二次汙染。

4. 高硬度與機械強度
莫氏硬度高達9，抗磨損與抗裂性優異，適合作為常需承受機械應力或精密定位的結構件，如導向環、真空吸盤座、隔熱墊片、陶瓷棒等。

5. 尺寸穩定、熱膨脹低
熱膨脹係數低，長時間高溫使用也不易產生尺寸偏移，可維持設備幾何精度與穩定性，提升整體製程一致性。

氧化鋁陶瓷在半導體設備中用途廣泛，包括但不限於：

• 腔體內襯與絕緣環：兼具抗電漿與絕緣功能，是蝕刻腔體與電極間的重要隔離材料。
• Susceptor 結構：耐高溫、導熱穩定，常見於 CVD、ALD 設備中的加熱平台。
• 絕緣支架、導氣座：在真空環境中維持穩定結構，抗變形且不釋放氣體或微粒。
• Sensor保護殼、測量固定架：保障感測元件穩定運作，避免靜電或溫差造成損壞。

這些部件原本常使用金屬或石英製作，但隨著製程尺寸縮小與良率要求提升，氧化鋁陶瓷展現出更長的壽命與更穩定的性能，逐漸成為標配材料。

全富奈米擁有多年深耕陶瓷加工的經驗，針對半導體產線需求，我們提供：

多種純度選項：可供應 96%、99%、99.5%、99.7% 高純度氧化鋁，對應不同設備與成本條件。
精密加工能力：能實現複雜幾何、微小孔洞、嚴格公差控制，並配合真空、絕緣、耐熱等多重需求。
穩定供貨與小量打樣服務：協助工程與採購端先驗證效能再進入量產階段。

如果您的設備製程面臨穩定性挑戰或正在尋求可靠替代材料，全富奈米的氧化鋁陶瓷將是值得信賴的選擇。歡迎聯繫我們，取得樣品與專業建議。

Q1：氧化鋁陶瓷與石英零件有什麼不同？
A：氧化鋁陶瓷在耐高溫、耐腐蝕、抗磨損上明顯優於石英，適用於更嚴苛的製程條件，且更不易產生熱裂或變形。

Q2：是否所有氧化鋁陶瓷純度都適合半導體應用？
A：並非如此。高純度（99% 以上）氧化鋁才適用於高潔淨與高溫應用，需依設備與製程條件選擇對應等級。

Q3：氧化鋁陶瓷可以取代金屬零件嗎？
A：在需絕緣、防腐蝕、抗熱變形的條件下可替代金屬，但若為結構強度與導電導熱應用，仍需評估是否適合。

Q4：全富奈米能提供少量客製與加工服務嗎？
A：可以，我們接受小量打樣與非標件加工，適合新產品開案與實驗階段測試。

Q5：全富提供哪些氧化鋁陶瓷加工能力？